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Auteur Nasr Eddine Ben Moussa
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Affiner la rechercheConception, modélisation et réalisation d'un capteur de pression capacitif microélectronique / Nasr Eddine Ben Moussa
Titre : Conception, modélisation et réalisation d'un capteur de pression capacitif microélectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : Nasr Eddine Ben Moussa, Auteur ; Daniel Estève, Directeur de thèse Editeur : Université Paul Sabatier de Toulouse Année de publication : 1985 Importance : 126 f. Présentation : ill. Format : 27 cm. Note générale : Thèse de Doctorat : Électronique : Toulouse, Université Paul Sabatier de Toulouse : 1985
Annexe f. 129 - 145 . Bibliogr. f. 149 - 158Langues : Français (fre) Mots-clés : Microélectronique ; Capteur ; Pressure ; Capacitif ; Micro-usinage ; Silicium ; Modélisation ; Technologie ; Capteur -- pression capacitif microélectronique Index. décimale : D002385 Résumé : La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à leur périphérie soumises à l'action d'une pression uniforme est modélisée en suivant une méthode semi analytique.
Connaissant la déflexion en tout point, le comportement de condensateurs variables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou rectangulaire est analysé en termes de linéarité, de sensibilité et de limitations intrinsèques.
Pour valider le modèle, une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la microélectronique, de la gravure anisotrope du silicium et de la soudure thermoélectrique sur substrat de verre.
L'étude de sa réponse confirme en grande partie les conclusions théoriques.Conception, modélisation et réalisation d'un capteur de pression capacitif microélectronique [texte imprimé] / Nasr Eddine Ben Moussa, Auteur ; Daniel Estève, Directeur de thèse . - [S.l.] : Université Paul Sabatier de Toulouse, 1985 . - 126 f. : ill. ; 27 cm.
Thèse de Doctorat : Électronique : Toulouse, Université Paul Sabatier de Toulouse : 1985
Annexe f. 129 - 145 . Bibliogr. f. 149 - 158
Langues : Français (fre)
Mots-clés : Microélectronique ; Capteur ; Pressure ; Capacitif ; Micro-usinage ; Silicium ; Modélisation ; Technologie ; Capteur -- pression capacitif microélectronique Index. décimale : D002385 Résumé : La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à leur périphérie soumises à l'action d'une pression uniforme est modélisée en suivant une méthode semi analytique.
Connaissant la déflexion en tout point, le comportement de condensateurs variables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou rectangulaire est analysé en termes de linéarité, de sensibilité et de limitations intrinsèques.
Pour valider le modèle, une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la microélectronique, de la gravure anisotrope du silicium et de la soudure thermoélectrique sur substrat de verre.
L'étude de sa réponse confirme en grande partie les conclusions théoriques.Exemplaires
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité Spécialité Etat_Exemplaire D002385 D002385 Papier + ressource électronique Bibliothèque centrale Thèse de Doctorat Disponible Electronique Consultation sur place/Téléchargeable Documents numériques
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