texte imprimé

Cinétiques des premiers stades de la nitruration thermique directe de Si (100) et des films minces de SiO₂ par l'ammoniac

Djaffar Saidi, Auteur ; A. Glachant, Directeur de thèse | Université d'Aix-Marseille II | 1985

Dans la première partie de ce mémoire (chapitre III), nous avons reporté les résultats concernant l'étude de la cinétique des premiers stades de croissance de films minces (20 A°) de nitrure par réaction chimique du silicium Si (100) avec l'ammo[...]

Plus d'information...

Ajouter un tag

Document numérique

Réserver

Disponible

---

1 (1 - 1 / 1) Par page : 25 50 100 200