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Mesure de l'épaisseur des couches minces / Dirami, A. 

Public ISBD Titre : Mesure de l'épaisseur des couches minces Type de document : texte imprimé Auteurs : Dirami, A., Auteur ; Koulechov, Directeur de thèse Editeur : [S.l.] : [s.n.] Année de publication : 1974 Importance : 67 f. Présentation : ill. Format : 30 cm. Note générale : Mémoire de Projet de Fin d’Études : Génie Électrique : Université d'Alger. École Nationale Polytechnique : 1974 Bibliogr. [1] f Langues : Français (fre) Mots-clés : Couches  minces  --  Épaisseur  --  Mesure Circuits  électriques  --  Calcul Index. décimale : PA00874 Résumé : La présente étude porte sur la mesure de l'épaisseur qui n'est pas accessible par les méthodes classiques. Dans une première partie, nous verrons rapidement les diverses techniques de fabrication des circuits intégrés, ce sera d'abord une description des circuits essentiels, puis nous insisterons sur les méthodes de réalisation des couches minces, ce qui nous fixera le domaine de travail et imposera les contraintes de la mesure. Nous exposerons ensuite les différentes méthodes qui peuvent permettre la mesure de l'épaisseur du film; ce chapitre sera suivi du choix de la méthode de mesure, ce choix se fera naturellement en fonction des différentes contraintes qui entrent en jeu. Viendra ensuite, l'analyse de la méthode choisie. Et enfin, nous passerons à la réalisation de l'appareil de mesure où nous trouverons les calculs des circuits électriques et une ébauche du circuits de commande du processus de dépôt. Mesure de l'épaisseur des couches minces [texte imprimé] / Dirami, A., Auteur ; Koulechov, Directeur de thèse . - [S.l.] : [s.n.], 1974 . - 67 f. : ill. ; 30 cm. Mémoire de Projet de Fin d’Études : Génie Électrique : Université d'Alger. École Nationale Polytechnique : 1974 Bibliogr. [1] f Langues : Français (fre) Mots-clés : Couches  minces  --  Épaisseur  --  Mesure Circuits  électriques  --  Calcul Index. décimale : PA00874 Résumé : La présente étude porte sur la mesure de l'épaisseur qui n'est pas accessible par les méthodes classiques. Dans une première partie, nous verrons rapidement les diverses techniques de fabrication des circuits intégrés, ce sera d'abord une description des circuits essentiels, puis nous insisterons sur les méthodes de réalisation des couches minces, ce qui nous fixera le domaine de travail et imposera les contraintes de la mesure. Nous exposerons ensuite les différentes méthodes qui peuvent permettre la mesure de l'épaisseur du film; ce chapitre sera suivi du choix de la méthode de mesure, ce choix se fera naturellement en fonction des différentes contraintes qui entrent en jeu. Viendra ensuite, l'analyse de la méthode choisie. Et enfin, nous passerons à la réalisation de l'appareil de mesure où nous trouverons les calculs des circuits électriques et une ébauche du circuits de commande du processus de dépôt.

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	Spécialité	Etat_Exemplaire
PA00874	PA00874	Papier + ressource électronique	Bibliothèque centrale	Projet Fin d'Etudes	Disponible	Genie_Electrique	Consultation sur place/Téléchargeable

Documents numériques

DIRAMI.A.pdf URL