| Titre : | Réalisation de systèmes de caractérisation localisée et automatisée dans le domaine des semiconducteurs |
| Auteurs : | Abdelkader Ali Mehidi, Auteur ; J. Oualid, Directeur de thèse |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Université de Droit, d'Economie et des Sciences d'Aix Marseille, 1984 |
| Format : | 162 f. / ill. / 27 cm. |
| Note générale : |
Thèse de Docteur Ingénieur : Optique et Traitement du Signal : Marseille, Université de Droit, d'Economie et des Sciences d'Aix Marseille : 1984
Bibliogr. f. 163 - 164 |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | D000684 |
| Tags : | Optique - traitement -- signal ; Semiconducteurs Dopage Longueur diffusion Imagerie tridimensionnelle couleur Traitements image |
| Résumé : |
Dans ce travail nous avons réalisé trois systèmes différents de caractérisation dans le domaine des semiconducteurs.
1- Un système de balayage photoélectrique (EBIC) constitué de deux sources optiques l'une à 0.93 μm l'autre à longueur d'onde variable qui permet d'obtenir une image photoélectrique tridimensionnelle et en couleur d'un composant électronique. 2- Un système de mesure sans contact de la durée de vie basée sur l'absorption infra-rouge des porteurs en excès. 3- Un système de détermination des principales grandeurs intervenant en technologie MOS. Ces systèmes ont pour point communs: 1) De mesurer localement diverses grandeurs caractéristiques des composants à semiconducteurs. 2) De dresser des cartographies couleurs ou non. 3) D'être gérés par un microordinateur qui autorise une automatisation totale. 4) De conduire à la mesure locale de la durée de vie dans diverses configurations. |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Spécialité | Etat_Exemplaire |
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| D000684 | Papier + ressource électronique | Bibliothèque Annexe | Thèse de Doctorat | Disponible | Autre | Consultation sur place/Téléchargeable |
Documents numériques (1)
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ALI-MEHIDI.Abdelkader.pdf URL
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