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A Capacitive Microcantilever: Modelling, Validation, and Estimation Using Current Measurements / Napoli, Mariatreresa in Transactions of the ASME . Journal of dynamic systems, measurement, and control, Vol. 126 N° 2 (Juin 2004) 

Public ISBD [article]  in Transactions of the ASME . Journal of dynamic systems, measurement, and control > Vol. 126 N° 2 (Juin 2004) . - 319-326 p. Titre : A Capacitive Microcantilever: Modelling, Validation, and Estimation Using Current Measurements Titre original : Un Micro-en Porte-à-Faux Capacitif : Modeler, Validation, et Evaluation en Utilisant des Mesures Courantes Type de document : texte imprimé Auteurs : Napoli, Mariatreresa, Auteur ; Bamieh, Bassam, Auteur ; Turner, Kimberly, Auteur Article en page(s) : 319-326 p. Note générale : Génie Mécanique Langues : Anglais (eng) Mots-clés : Micro-en-porte-à-faux  Cantilever  passionnant  Dynamique  linéarisée  Système  périodique  Observateur  optimal Index. décimale : 629.8 Résumé : We present a mathematical model for the dynamics of an electrostatically actuated micro-cantilever. For the common case of cantilevers excited by a periodic voltage, we show that the underlying linearized dynamics are those of a periodic system described by a Mathieu equation. We present experimental results that confirm the validity of the model, and in particular, illustrate that parametric resonance phenomena occur in capacitively actuated micro-cantilevers. We propose a system where the current measured is used as the sensing signal of the cantilever state and position through a dynamical observer. By investigating how the best achievable performance of an optimal observer depends on the excitation frequency, we show that the best such frequency is not necessarily the resonant frequency of the cantilever. Nous présentons un modèle mathématique pour la dynamique d'un micro-en porte-à-faux électrostatiquement actionné. Pour le cas commun des cantilevers passionnants par une tension périodique, nous prouvons que la dynamique linéarisée fondamentale est ceux d'un système périodique décrit par une équation de Mathieu. Nous présentons les résultats expérimentaux qui confirment la validité du modèle, et en particulier, illustrons que les phénomènes paramétriques de résonance se produisent dans micro-cantilevers capacitively actionné. Nous proposons un système où le courant mesuré est employé pendant que le signal de sensation de l'état et de la position en porte-à-faux par un observateur dynamique. En étudiant comment la meilleure exécution réalisable d'un observateur optimal dépend de la fréquence d'excitation, nous prouvons que le meilleur une telle fréquence n'est pas nécessairement la fréquence de résonance du en porte-à-faux. En ligne : napoli@engineering.ucsb.edu, bamieh@engineering.ucsb.edu, turner@engineering.ucs [...] [article] A Capacitive Microcantilever: Modelling, Validation, and Estimation Using Current Measurements = Un Micro-en Porte-à-Faux Capacitif : Modeler, Validation, et Evaluation en Utilisant des Mesures Courantes [texte imprimé] / Napoli, Mariatreresa, Auteur ; Bamieh, Bassam, Auteur ; Turner, Kimberly, Auteur . - 319-326 p. Génie Mécanique Langues : Anglais (eng) in Transactions of the ASME . Journal of dynamic systems, measurement, and control > Vol. 126 N° 2 (Juin 2004) . - 319-326 p. Mots-clés : Micro-en-porte-à-faux  Cantilever  passionnant  Dynamique  linéarisée  Système  périodique  Observateur  optimal Index. décimale : 629.8 Résumé : We present a mathematical model for the dynamics of an electrostatically actuated micro-cantilever. For the common case of cantilevers excited by a periodic voltage, we show that the underlying linearized dynamics are those of a periodic system described by a Mathieu equation. We present experimental results that confirm the validity of the model, and in particular, illustrate that parametric resonance phenomena occur in capacitively actuated micro-cantilevers. We propose a system where the current measured is used as the sensing signal of the cantilever state and position through a dynamical observer. By investigating how the best achievable performance of an optimal observer depends on the excitation frequency, we show that the best such frequency is not necessarily the resonant frequency of the cantilever. Nous présentons un modèle mathématique pour la dynamique d'un micro-en porte-à-faux électrostatiquement actionné. Pour le cas commun des cantilevers passionnants par une tension périodique, nous prouvons que la dynamique linéarisée fondamentale est ceux d'un système périodique décrit par une équation de Mathieu. Nous présentons les résultats expérimentaux qui confirment la validité du modèle, et en particulier, illustrons que les phénomènes paramétriques de résonance se produisent dans micro-cantilevers capacitively actionné. Nous proposons un système où le courant mesuré est employé pendant que le signal de sensation de l'état et de la position en porte-à-faux par un observateur dynamique. En étudiant comment la meilleure exécution réalisable d'un observateur optimal dépend de la fréquence d'excitation, nous prouvons que le meilleur une telle fréquence n'est pas nécessairement la fréquence de résonance du en porte-à-faux. En ligne : napoli@engineering.ucsb.edu, bamieh@engineering.ucsb.edu, turner@engineering.ucs [...]