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Microanalyse d'échantillons de silicium par rétrodiffusion d'ions He⁺ d'énergie 2MeV et émission x induite par des protons et des particules alpha / Benguerba, Messaoud 

Public ISBD Titre : Microanalyse d'échantillons de silicium par rétrodiffusion d'ions He⁺ d'énergie 2MeV et émission x induite par des protons et des particules alpha Type de document : texte imprimé Auteurs : Benguerba, Messaoud, Auteur ; Amokrane, Arezki, Directeur de thèse Editeur : Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne Année de publication : 1980 Importance : 107 f. Présentation : ill. Format : 27 cm. Note générale : Thèse d’État : Physique Nucléaire : Alger, Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne : 1980 Bibliogr. [5] f Langues : Français (fre) Mots-clés : Silicium Ions  He Energie  2MeV Emission  X Protons Particules  alpha Microanalyse  par  rétrodiffusion Index. décimale : D000280 Résumé : Nous avons essayé de montrer dans le présent travail la complémentarité entre ces deux méthodes que nous avons appliquées à l'analyse d'échantillon de silicium, ces échantillons étaient fournis sous forme de poudre par un laboratoire de l'Université des Sciences et de la technologie d'Oran, travaillant sur la fabrication du silicium. La première étape du travail a consisté en la préparation des cibles adéquates à partir des échantillons initiaux, soit par partillage, soit par évaporation. Dans la deuxième étape nous avons analysé les échantillons en observant les raies X caractéristiques induites par des protons d'énergie 1,5 Mev, 2 Mev, et 2,5 Mev. L'analyse par rétrodiffusion d'ions He à 2 Mev a complété les mesures précédentes. Dans le premier chapitre nous exposons les principes de la micro-analyse par excitation atomique et par rétrodiffusion ainsi que leurs domaines d'utilisation et leurs limites. Le second chapitre est réservé au dispositif expérimental, l'étalonnage de la chaîne de détection et la préparation des échantillons. Dans le troisième chapitre nous présentons l'analyse et discussion des résultats expérimentaux obtenus à partir des deux méthodes. Les méthodes d'analyse par rétrodiffusion et par émission X induite, apparaissent comme complémentaire et constitue des outils puissants d'analyse des couches minces. Microanalyse d'échantillons de silicium par rétrodiffusion d'ions He⁺ d'énergie 2MeV et émission x induite par des protons et des particules alpha [texte imprimé] / Benguerba, Messaoud, Auteur ; Amokrane, Arezki, Directeur de thèse . - Alger : Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne, 1980 . - 107 f. : ill. ; 27 cm. Thèse d’État : Physique Nucléaire : Alger, Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne : 1980 Bibliogr. [5] f Langues : Français (fre) Mots-clés : Silicium Ions  He Energie  2MeV Emission  X Protons Particules  alpha Microanalyse  par  rétrodiffusion Index. décimale : D000280 Résumé : Nous avons essayé de montrer dans le présent travail la complémentarité entre ces deux méthodes que nous avons appliquées à l'analyse d'échantillon de silicium, ces échantillons étaient fournis sous forme de poudre par un laboratoire de l'Université des Sciences et de la technologie d'Oran, travaillant sur la fabrication du silicium. La première étape du travail a consisté en la préparation des cibles adéquates à partir des échantillons initiaux, soit par partillage, soit par évaporation. Dans la deuxième étape nous avons analysé les échantillons en observant les raies X caractéristiques induites par des protons d'énergie 1,5 Mev, 2 Mev, et 2,5 Mev. L'analyse par rétrodiffusion d'ions He à 2 Mev a complété les mesures précédentes. Dans le premier chapitre nous exposons les principes de la micro-analyse par excitation atomique et par rétrodiffusion ainsi que leurs domaines d'utilisation et leurs limites. Le second chapitre est réservé au dispositif expérimental, l'étalonnage de la chaîne de détection et la préparation des échantillons. Dans le troisième chapitre nous présentons l'analyse et discussion des résultats expérimentaux obtenus à partir des deux méthodes. Les méthodes d'analyse par rétrodiffusion et par émission X induite, apparaissent comme complémentaire et constitue des outils puissants d'analyse des couches minces.

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Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	Spécialité	Etat_Exemplaire
D000280	D000280	Papier	Bibliothèque centrale	Thèse de Doctorat	Disponible

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