[article]
| Titre : |
Microsystèmes : applications et mise en œuvre |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Sylvain Paineau, Auteur ; Andreucci, Philippe, Auteur ; Catherine Schaffnit, Auteur |
| Année de publication : |
2007 |
| Article en page(s) : |
21 p. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Microsystèmes Microsystèmes optiques radio-fréquence RF |
| Résumé : |
Les microsystèmes, nés vers la fin des années 1980 et commercialisés à partir des années 1990, connaissent actuellement un essor important. Les technologies des microsystèmes ont en effet été identifiées comme étant les plus prometteuses pour le vingt-et-unième siècle, et comme pouvant révolutionner à la fois le monde industriel et celui du consommateur en combinant la microélectronique et la technologie de microfabrication.
L’article qui suit commence par la conception d’un microsystème, décrit sa fabrication et présente les principales applications des microsystèmes : microsystèmes radiofréquence, microsystèmes optiques et capteurs par exemple. Il complète les articles suivants des Techniques de l’Ingénieur : « Microsystèmes » réf. [37], « Capteurs à semiconducteurs » [E 2 310] réf. [43], « Capteurs microélectroniques » |
| REFERENCE : |
E 3 090 |
| Date : |
Fevrier 2005 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/usinage-des-m [...] |
in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E5 (Trimestriel) . - 21 p.
[article] Microsystèmes : applications et mise en œuvre [texte imprimé] / Sylvain Paineau, Auteur ; Andreucci, Philippe, Auteur ; Catherine Schaffnit, Auteur . - 2007 . - 21 p. Langues : Français ( fre) in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E5 (Trimestriel) . - 21 p.
| Mots-clés : |
Microsystèmes Microsystèmes optiques radio-fréquence RF |
| Résumé : |
Les microsystèmes, nés vers la fin des années 1980 et commercialisés à partir des années 1990, connaissent actuellement un essor important. Les technologies des microsystèmes ont en effet été identifiées comme étant les plus prometteuses pour le vingt-et-unième siècle, et comme pouvant révolutionner à la fois le monde industriel et celui du consommateur en combinant la microélectronique et la technologie de microfabrication.
L’article qui suit commence par la conception d’un microsystème, décrit sa fabrication et présente les principales applications des microsystèmes : microsystèmes radiofréquence, microsystèmes optiques et capteurs par exemple. Il complète les articles suivants des Techniques de l’Ingénieur : « Microsystèmes » réf. [37], « Capteurs à semiconducteurs » [E 2 310] réf. [43], « Capteurs microélectroniques » |
| REFERENCE : |
E 3 090 |
| Date : |
Fevrier 2005 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/usinage-des-m [...] |
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Microsystèmes (2005)
