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Développement de microvalve bi-matériaux polymères PDMS/PMMA par deux techniques de réplication / Khan Malek, Chantal in La Houille blanche, N° 4 (2006) 

Public ISBD [article]  in La Houille blanche > N° 4 (2006) . - 40-44 p. Titre : Développement de microvalve bi-matériaux polymères PDMS/PMMA par deux techniques de réplication Titre original : Development of a polymeric bi-material microvalve using two techniques of replication Type de document : texte imprimé Auteurs : Khan Malek, Chantal, Auteur ; Thuillier, Gaël, Auteur ; Duffait, Roland, Auteur Article en page(s) : 40-44 p. Note générale : Hydraulique Langues : Français (fre) Mots-clés : Microvalve  bi-matériaux  polymères  Assemblage  Membrane  Moulage  Résine  Etage  fluidique  Microsystème Index. décimale : 551.4 Résumé : The polymeric bi-material microvalve consists of both a fluidic part including a membrane and PDMS channels , and a PMMA pneumatic interface. Standard techniques have been used to realize this device through two distinct low-cost replica methods, a membrane transfer method, and two assembly techniques. PDMS is cast onto a thick photoresist pattern, while a double hot-embossing process with a chemically-etched silicon mould yields the PMMA pneumatic interface. A localized PDMS-PDMS bonding is performed by an oxygen plasma treatment in selective areas defined by masking, while spin-coating of liquid PDMS with a commercial adhesion promoter layer is used for the PDMS-PMMA bonding. La microvalve bi-matériaux polymères développée comporte un étage fluidique avec canaux et membrane en polydiméthylsiloxane (PDMS) et une interface pneumatique en polyméthylméthacrylate (PMMA). Sa construction a été réalisée par des techniques courantes : deux méthodes différentes de réplication bas coût, une méthode de transfert de membrane, et deux techniques d’assemblage. Le moulage de PDMS par la technique de ‘‘casting’’ s’effectue sur une empreinte définie par photolithographie de résine épaisse alors que l’interface pneumatique en PMMA est obtenue par double hot-embossing à partir d’une matrice en silicium usiné chimiquement. Le collage localisé PDMS-PDMS s’effectue par traitement plasma oxygène après masquage sélectif des zones à joindre et l’interfaçage PDMS-PMMA par enduction de PDMS liquide en utilisant un promoteur d’adhérence commercial. DEWEY : 553.7 ISSN : 0018-6368 RAMEAU : Microfluidique -- -- Microtechniques En ligne : http://www.shf-lhb.org/index.php?option=article&access=standard&Itemid=129&url=/ [...] [article] Développement de microvalve bi-matériaux polymères PDMS/PMMA par deux techniques de réplication = Development of a polymeric bi-material microvalve using two techniques of replication [texte imprimé] / Khan Malek, Chantal, Auteur ; Thuillier, Gaël, Auteur ; Duffait, Roland, Auteur . - 40-44 p. Hydraulique Langues : Français (fre) in La Houille blanche > N° 4 (2006) . - 40-44 p. Mots-clés : Microvalve  bi-matériaux  polymères  Assemblage  Membrane  Moulage  Résine  Etage  fluidique  Microsystème Index. décimale : 551.4 Résumé : The polymeric bi-material microvalve consists of both a fluidic part including a membrane and PDMS channels , and a PMMA pneumatic interface. Standard techniques have been used to realize this device through two distinct low-cost replica methods, a membrane transfer method, and two assembly techniques. PDMS is cast onto a thick photoresist pattern, while a double hot-embossing process with a chemically-etched silicon mould yields the PMMA pneumatic interface. A localized PDMS-PDMS bonding is performed by an oxygen plasma treatment in selective areas defined by masking, while spin-coating of liquid PDMS with a commercial adhesion promoter layer is used for the PDMS-PMMA bonding. La microvalve bi-matériaux polymères développée comporte un étage fluidique avec canaux et membrane en polydiméthylsiloxane (PDMS) et une interface pneumatique en polyméthylméthacrylate (PMMA). Sa construction a été réalisée par des techniques courantes : deux méthodes différentes de réplication bas coût, une méthode de transfert de membrane, et deux techniques d’assemblage. Le moulage de PDMS par la technique de ‘‘casting’’ s’effectue sur une empreinte définie par photolithographie de résine épaisse alors que l’interface pneumatique en PMMA est obtenue par double hot-embossing à partir d’une matrice en silicium usiné chimiquement. Le collage localisé PDMS-PDMS s’effectue par traitement plasma oxygène après masquage sélectif des zones à joindre et l’interfaçage PDMS-PMMA par enduction de PDMS liquide en utilisant un promoteur d’adhérence commercial. DEWEY : 553.7 ISSN : 0018-6368 RAMEAU : Microfluidique -- -- Microtechniques En ligne : http://www.shf-lhb.org/index.php?option=article&access=standard&Itemid=129&url=/ [...]