Auteur Palazoglu, Ahmet
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Mukherjee, Rajib, Auteur ; Hung, Francisco R., Auteur ; Palazoglu, Ahmet, Auteur |In the fabrication of microelectronic and microelectromechanical systems (MEMS) devices, geometric patterns are transferred onto the substrate by the process of lithography. A photoresist polymer is used in the process, which affects the surface[...]
