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A new design of a submicropositioner utilizing electromagnetic actuators and flexure mechanism / Chen, Mei-Yung in IEEE transactions on industrial electronics, Vol. 57 N° 1 (Janvier 2010) 

Public ISBD [article]  in IEEE transactions on industrial electronics > Vol. 57 N° 1 (Janvier 2010) . - pp. 96 - 106 Titre : A new design of a submicropositioner utilizing electromagnetic actuators and flexure mechanism Type de document : texte imprimé Auteurs : Chen, Mei-Yung, Auteur ; Huang, Hsuan-Han, Auteur ; Hung, Shao-Kang, Auteur Article en page(s) : pp. 96 - 106 Note générale : Génie électrique Langues : Anglais (eng) Mots-clés : Adaptive  controoler  Electromagnetic  actuator  Fabry-Perot  interferometer  Modeling  Motion  control  Optical  sensor  Parallel  flexure  mechanism  Precision  positioner  Sliding  mode  controller  (SMC) Index. décimale : 621.38 Dispositifs électroniques. Tubes à électrons. Photocellules. Accélérateurs de particules. Tubes à rayons X Résumé : In this paper, a novel XY-dimensional submicropositioner, including mechanism, control, and analysis, is successfully presented. The design of the submicropositioner utilizes a monolithic parallel flexure mechanism with built-in electromagnetic actuators and optical sensors to achieve the object of 3-DOF precise motion. From the provided experimental results, there are several main goals that have been achieved in this paper: (1) to integrate the electromagnetic actuator and the parallel flexure mechanism for planar positioning system; (2) to establish the mathematical modeling; (3) to develop an advanced adaptive sliding-mode controller; and (4) to perform extensive experiments to test the realistic performance. DEWEY : 621.38 ISSN : 0278-0046 En ligne : http://ieeexplore.ieee.org/xpl/freeabs_all.jsp?arnumber=5280209 [article] A new design of a submicropositioner utilizing electromagnetic actuators and flexure mechanism [texte imprimé] / Chen, Mei-Yung, Auteur ; Huang, Hsuan-Han, Auteur ; Hung, Shao-Kang, Auteur . - pp. 96 - 106. Génie électrique Langues : Anglais (eng) in IEEE transactions on industrial electronics > Vol. 57 N° 1 (Janvier 2010) . - pp. 96 - 106 Mots-clés : Adaptive  controoler  Electromagnetic  actuator  Fabry-Perot  interferometer  Modeling  Motion  control  Optical  sensor  Parallel  flexure  mechanism  Precision  positioner  Sliding  mode  controller  (SMC) Index. décimale : 621.38 Dispositifs électroniques. Tubes à électrons. Photocellules. Accélérateurs de particules. Tubes à rayons X Résumé : In this paper, a novel XY-dimensional submicropositioner, including mechanism, control, and analysis, is successfully presented. The design of the submicropositioner utilizes a monolithic parallel flexure mechanism with built-in electromagnetic actuators and optical sensors to achieve the object of 3-DOF precise motion. From the provided experimental results, there are several main goals that have been achieved in this paper: (1) to integrate the electromagnetic actuator and the parallel flexure mechanism for planar positioning system; (2) to establish the mathematical modeling; (3) to develop an advanced adaptive sliding-mode controller; and (4) to perform extensive experiments to test the realistic performance. DEWEY : 621.38 ISSN : 0278-0046 En ligne : http://ieeexplore.ieee.org/xpl/freeabs_all.jsp?arnumber=5280209