| Titre : | Les capteurs MEMS : principes de fonctionnement (2007) |
| Auteurs : | Gilles Amendola, Auteur |
| Type de document : | Article : texte imprimé |
| Dans : | Techniques de l'ingénieur RB (Vol. RB1, Trimestriel) |
| Article en page(s) : | 20 p. |
| Note générale : | Bibliogr. |
| Langues : | Français |
| Tags : | Capteurs MEMS ; Fonctionnement ; Electronique |
| Résumé : |
Cet article est le premier d’une suite de deux articles, [R 430] et [R 431], traitant du vaste sujet des capteurs MEMS. Dans cette première partie, nous exposerons les technologies de fabrication, les principaux effets physiques rencontrés, et les traitements électroniques associés. Les traitements électroniques couvrent en partie le sujet de la transformation des variations de valeurs d’un paramètre électrique (tel que résistance, capacité...) en un signal électrique facilement utilisable (ce signal pouvant être analogique ou numérique).
Dans la seconde partie (article [R 431]), nous traiterons des techniques utilisées et de leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures. Ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques... seront développées dans cette seconde partie. |
| REFERENCE : | R 430 |
| Date : | Mars 2011 |
| En ligne : | http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mesures-analyses-th1/capteurs-et-methodes-de-mesure-42419210/les-capteurs-mems-r430/ |
