| Titre : | Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration |
| Auteurs : | Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Université de Paris-Sud, 1985 |
| Format : | 96 f. / ill. / 27 cm. |
| Note générale : |
Thèse de Docteur Ingénieur : Électronique : Paris, Université -- Paris-Sud : 1985
Bibliogr. f. 98 - 99 . - Annexe f. 104 - 107 |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | D000685 |
| Tags : | Gravure -- circuits intégrés Circuits intégrés haute intégration (VLSI) Détection fin de gravure Interféromètre laser Couches minces Plasma |
| Résumé : |
Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI).
Ce système est construit autour d'un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques. Il est accompagné de cartes d'interfaces performantes et programmables complétées de cartes d'applications spécifiques aux capteurs. Le contrôleur mis au point s'appuie sur l'interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d'autres capteurs. |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Spécialité | Etat_Exemplaire |
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| D000685 | Papier + ressource électronique | Bibliothèque Annexe | Thèse de Doctorat | Disponible | Electronique | Consultation sur place/Téléchargeable |
Documents numériques (1)
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OUGOUAG.Omar.pdf URL
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