| Titre : | Etude par topographie aux rayons X de la relaxation des contraintes en tête des fissures dans les cristaux de silicium |
| Auteurs : | Kheireddine El Badaoui, Auteur ; G. Champier, Directeur de thèse |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Université de Nancy I, 1976 |
| Format : | 43 f. / ill. / 27 cm. |
| Note générale : |
Thèse de Docteur-Ingénieur : Civil des Mines : Nancy, Université de Nancy I : 1976
Bibliogr. f. 44 - 45 . - Annexe [60] f |
| Langues : | Français |
| Index. décimale : | D001076 |
| Tags : | Topographie -- rayons X Relaxation contraintes Cristaux silicium |
| Résumé : |
Dans le présent travail, nous nous sommes attachés à déterminer l'origine et le mode d'action des contraintes qui produisent les bandes de lignes de dislocations que l'on observe par topographie aux rayons X dans les tranches de silicium (001) après le premier traitement d'épitaxie.
Les travaux antérieurs ont pris en compte directement les contraintes dues au gradient de température; ils rendent bien compte de l'allure générale des bandes de dislocations observées mais ils sont insuffisants quant à l'évaluation de la contrainte nécessaire pour créer des dislocations et quant à la présence ou l'absence de bandes de dislocations dans les différentes zones de la tranche. Nous montrerons que la concentration des contraintes qui se produit en tête des microfissures périphériques peut permettre de comprendre le rôle des contraintes dues au gradient de température. Dans le chapitre suivant nous décrivons les techniques expérimentales utilisées dans ce travail. Les résultats expérimentaux relatifs aux tranches de silicium sont rassemblés au troisième chapitre; ceux relatifs à la relaxation en tête de fissure sont rassemblés au quatrième chapitre. Dans le cinquième chapitre nous appliquons les formules de la mécanique linéaire de la rupture à chacun de nos deux cas; nous comparons alors les résultats observés et les prévisions; nous discutons les écarts éventuels et nous tentons de rendre compte des mécanismes qui interviennent dans la relaxation des contraintes. |
Exemplaires (1)
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité | Spécialité | Etat_Exemplaire |
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| D001076 | Papier + ressource électronique | Bibliothèque Annexe | Thèse de Doctorat | Disponible | Autre | Consultation sur place/Téléchargeable |
Documents numériques (1)
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EL-BADAOUI.Kheireddine.pdf URL
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