| Titre : | Matériau PZT compatible avec le silicium procédé de dépôt par voie sol-gel : réf. internet IN40 |
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| Auteurs : | Belleville, Philippe, Auteur ; Boy, Philippe, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Techniques de l'ingénieur, 2005 |
| Format : | p. 341 - 348 |
| Note générale : | Bibliogr. p. 347 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Matériau Silicium procédé Recherche -- But Procédé Avantage description |
| Note de contenu : |
Sommaire :
1. But de la recherche 2. Etat de l'art 3. Avantages du procédé 4. Description du procédé 5. Autres compositions étudiées |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
