| Titre : | Capteurs microélectroniques : réf. internet E 3093 |
| in : | |
| Auteurs : | Alfred Permuy, Auteur ; Eric Donzier, Auteur ; Fadhel Rezgui, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Techniques de l'ingénieur, 2004 |
| Format : | P. 411 - 429 |
| Note générale : | Bibliogr. p. 429 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Capteurs -- microélectroniques |
| Note de contenu : |
Sommaire :
1. Matériaux de la microélectronique 2. Technologie du micro-usinage collectif 3. Techniques d’assemblage 4. Applications des structures micro-usinées 5. Capteurs non micro-usinés 6. Effets de la miniaturisation des capteurs 7. Conclusion |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
