Titre :	Matériau PZT compatible avec le silicium Procédé de dépôt par voie sol-gel : réf. internet IN 40
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Belleville, Philippe, Auteur ; Boy, Philippe, Auteur
Editeur :	Paris : Techniques de l'ingénieur
Année de publication :	2005
Importance :	p. 113 - 119
Note générale :	Bibliogr. p. 119
Langues :	Français (fre)
Mots-clés :	Matériau PZT Silicium
Note de contenu :	Sommaire : 1. But de la recherche 2. État de l’art 3. Avantages du procédé 4. Description du procédé 5. Autres compositions étudiées 6. Conclusion

Matériau PZT compatible avec le silicium Procédé de dépôt par voie sol-gel : réf. internet IN 40 [texte imprimé] / Belleville, Philippe, Auteur ; Boy, Philippe, Auteur . - Paris : Techniques de l'ingénieur, 2005 . - p. 113 - 119.
Bibliogr. p. 119
Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Matériau PZT Silicium
Note de contenu :	Sommaire : 1. But de la recherche 2. État de l’art 3. Avantages du procédé 4. Description du procédé 5. Autres compositions étudiées 6. Conclusion