| Titre : | Ellipsométrie- Théorie : réf. internet : R6490 |
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| Auteurs : | Frank Bernoux, Auteur ; Jean-Philippe Piel, Auteur ; Bernard Castellon, Auteur ; Christophe Defranoux, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Techniques de l'ingénieur, 2003 |
| Format : | p.287-298 |
| Note générale : | |
| Langues : | Français |
| Tags : | Ellipsométrie --paramétre |
| Note de contenu : |
Sommaire:
1. Principe de la mesure 2. Techniques de mesure 3. Traitement du signal 4. Exploitation des paramètres ellipsométriques |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
