| Titre : | Ellipsométrie.Instrumentation et applications : réf. internet : R6491 |
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| Auteurs : | Frank Bernoux, Auteur ; Jean-Philippe Piel, Auteur ; Bernard Castellon, Auteur ; Christophe Defranoux, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Techniques de l'ingénieur, 2003 |
| Format : | p.299-310 |
| Note générale : | Bibliogr. p.309-310 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Ellipsométrie -- Applications |
| Note de contenu : |
Sommaire:
1. Instrumentation 2. Extensions 3. Domaines d’applications 4. Comparaison avec d’autres techniques |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|
| aucun exemplaire |
