| Titre : | Le microscope à force atomique métrologique : réf.internet NM7050 |
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| Auteurs : | Sébastien Ducourtieu, Auteur ; Benoît POYET, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Editeur : | Paris : Techniques de l'ingénieur, 2013 |
| Format : | p.481-504 |
| Note générale : | bibliogr.503-504 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Microscope--Métrologique |
| Note de contenu : |
Sommaire:
1. nIntroduction 2. Un contexte favorable au développement de la nanométrologie 3. Préambule : la nanométrologie dimensionnelle 4. Microscope à force atomique métrologique 5. Afm métrologique du lne 6. Performances 7. Conclusion et perspectives |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|
| aucun exemplaire |
