Titre :	Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS : réf. internet TRI 4700
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur
Année de publication :	2012
Importance :	p. 161-180
Note générale :	Bibliogr. p. 179-180
Langues :	Français (fre)
Mots-clés :	Couches minces -- tribologie Nano-indentation Adhésion
Note de contenu :	Sommaire: 1. Microrelais MEMS ohmiques 2. Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact 3. Etude discrète de la déformation des aspérités des surfaces nanorugueuses 4. Modélisation mécanique du contact rugueux 5. Conclusions et perspectives 6. Glossaire

Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS : réf. internet TRI 4700 [texte imprimé] / Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur . - 2012 . - p. 161-180.
Bibliogr. p. 179-180
Langues : Français (fre)

Mots-clés :	Couches minces -- tribologie Nano-indentation Adhésion
Note de contenu :	Sommaire: 1. Microrelais MEMS ohmiques 2. Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact 3. Etude discrète de la déformation des aspérités des surfaces nanorugueuses 4. Modélisation mécanique du contact rugueux 5. Conclusions et perspectives 6. Glossaire