| Titre : | Les capteurs MEMS : principes de fonctionnement: réf. internet R 430 |
| in : | |
| Auteurs : | Gilles Amendola, Auteur ; Patrick Poulichet, Auteur ; Laure Sevely, Auteur ; Laurie Valbin, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Année de publication : | 2011 |
| Format : | p. 373-394 |
| Note générale : | Bibliogr. p. 393-394 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Capteurs MEMS Transduction Conditionnement |
| Note de contenu : |
Sommaire:
1. Généralités et procédés de fabrication 2. Transduction utilisées dans les MEMS 3. Electronique de conditionnement 4. Conclusion |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
