Auteur J. Keckes
Documents disponibles écrits par cet auteur (1)
Affiner la recherche
Article : texte imprimé
R. Daniel, Auteur ; K.J. Martinschitz, Auteur ; J. Keckes, Auteur |In order to understand the origin of the residual stress state in thin films and its thickness dependence, the structure–stress relation of magnetron-sputtered Cr and CrN layers with thicknesses ranging from 100 nm to 3 μm was investigated in de[...]
