Auteur E. K. Baumert
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E. K. Baumert, Auteur ; P.-O. Theillet, Auteur ; O.N. Pierron, Auteur |This study investigated the cyclic and static fatigue properties of 10 μm thick, deep reactive ion etched, monocrystalline silicon films. Stress–life fatigue curves and fatigue degradation rates vs. stress curves were generated at both 4 and 40 [...]
