| Titre : | Simulation à l’échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces : réf. internet : RE259 |
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| Auteurs : | Alain Estéve, Auteur ; Mehdi Djafari Rouhani, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Année de publication : | 2015 |
| Format : | p.411-426 / ill. |
| Note générale : | Bibliogr. p.425-426 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Échelle atomique -- Simulation Oxydes ultra-minces |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
- Contexte - Enjeux pour une simulation de l’ald - Méthodologie multi-échelle - Exemples d’applications - Conclusions et perspectives |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|
| aucun exemplaire |

