| Titre : | Réacteurs ALD : réf. internet : RE254 |
| in : | |
| Auteurs : | Jacques Kools, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Année de publication : | 2016 |
| Format : | p.427-440 / ill. |
| Note générale : | Bibliogr. p .439 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Réacteurs ALD |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
- Chimie et physique à l’échelle nanoscopique et microscopique - Métriques de performance - Architectures de réacteur - Génération et dosage de vapeur de précurseur - Exemples d’applications - Conclusion |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
|---|---|---|---|---|
| aucun exemplaire |
