| Titre : | Dépôt par couche atomique spatiale (SALD) : réf. internet : 42186 |
| in : | |
| Auteurs : | David Mnoz-Rojas, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Format : | p.463-474 / ill. |
| Note générale : | Bibliogr. p.473 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Dépôt par couche atomique |
| Note de contenu : |
Au sommaire:
- Sald vs ald - Garder les précurseurs séparés : les bâtis de sald - Dynamique des fluides et sald : des défis d’ingénierie - Applications de la sald - Conclusion - Sigles, notations et symboles |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
