| Titre : | Nature et qualité du vide : contamination : réf. internet BM 4040 |
| in : | |
| Auteurs : | Leclerc, Jean, Auteur |
| Type de document : | texte imprimé |
| Année de publication : | 1997 |
| Format : | P. 23 - 38 |
| Note générale : | Bibliogr. p. 37 |
| Langues : | Français |
| Tags : | Vide -- Nature, qualité |
| Note de contenu : |
Sommaire :
1. Production du vide 2. Évolution de la nature chimique 3. Qualité du vide. Contamination du vide 4. Mesure de l'atmosphère résiduelle 5. Mesure de la contamination des surfaces 6. Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre |
Exemplaires
| Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
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| aucun exemplaire |
