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Nature et qualité du vide / Leclerc, Jean (1997)

Titre :	Nature et qualité du vide : contamination : réf. internet BM 4040
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Leclerc, Jean, Auteur
Année de publication :	1997
Importance :	P. 23 - 38
Note générale :	Bibliogr. p. 37
Langues :	Français (fre)
Mots-clés :	Vide -- Nature, qualité
Note de contenu :	Sommaire : 1. Production du vide 2. Évolution de la nature chimique 3. Qualité du vide. Contamination du vide 4. Mesure de l'atmosphère résiduelle 5. Mesure de la contamination des surfaces 6. Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
aucun exemplaire