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Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais / Arrazat, Brice in Techniques de l'ingénieur TRI, Vol. TRI 2 (Autre) 

Public ISBD [article]  in Techniques de l'ingénieur TRI > Vol. TRI 2 (Autre) . - 18 p. Titre : Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais Type de document : texte imprimé Auteurs : Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur Année de publication : 2011 Article en page(s) : 18 p. Note générale : Bibliogr. Langues : Français (fre) Mots-clés : Film  mince  Nano-indentation  Nanorugosités  Adhésion  Microélectronique  Microrelais  MEMS  ohmique Résumé : Afin d’étudier la tribologie des couches minces d’or, des expériences de nano-indentation sphérique aux faibles forces (< 2mN) sont couplées à des traitements d’images réalisées au microscope à force atomique. Ainsi, l’évolution des forces d’adhésion, et donc le risque de stiction du contact, est interprétée en fonction de la rugosité RMS, du rayon de courbure moyen et de la répartition en hauteur du sommet des aspérités de la surface. Une approche discrète est proposée et confrontée à une modélisation étendue du contact rugueux, prenant en compte la déformation de chaque aspérité (de quelques nanomètres), mettant en évidence le faible nombre d’aspérités finalement en contact (< 50 %) et une aire réelle de contact associé de l’ordre de 25 % de l’aire apparente de contact. REFERENCE : TRI 4 700 Date : Septembre 2012 En ligne : http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/materiaux-et- [...] [article] Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais [texte imprimé] / Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur . - 2011 . - 18 p. Bibliogr. Langues : Français (fre) in Techniques de l'ingénieur TRI > Vol. TRI 2 (Autre) . - 18 p. Mots-clés : Film  mince  Nano-indentation  Nanorugosités  Adhésion  Microélectronique  Microrelais  MEMS  ohmique Résumé : Afin d’étudier la tribologie des couches minces d’or, des expériences de nano-indentation sphérique aux faibles forces (< 2mN) sont couplées à des traitements d’images réalisées au microscope à force atomique. Ainsi, l’évolution des forces d’adhésion, et donc le risque de stiction du contact, est interprétée en fonction de la rugosité RMS, du rayon de courbure moyen et de la répartition en hauteur du sommet des aspérités de la surface. Une approche discrète est proposée et confrontée à une modélisation étendue du contact rugueux, prenant en compte la déformation de chaque aspérité (de quelques nanomètres), mettant en évidence le faible nombre d’aspérités finalement en contact (< 50 %) et une aire réelle de contact associé de l’ordre de 25 % de l’aire apparente de contact. REFERENCE : TRI 4 700 Date : Septembre 2012 En ligne : http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/materiaux-et- [...]

Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS / Arrazat, Brice

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : tribologie Ti574. Matériaux et tribologie / Eric Felder  Titre : Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS : réf. internet TRI 4700 Type de document : texte imprimé Auteurs : Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur Année de publication : 2012 Importance : p. 161-180 Note générale : Bibliogr. p. 179-180 Langues : Français (fre) Mots-clés : Couches  minces  --  tribologie Nano-indentation Adhésion Note de contenu : Sommaire: 1. Microrelais MEMS ohmiques 2. Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact 3. Etude discrète de la déformation des aspérités des surfaces nanorugueuses 4. Modélisation mécanique du contact rugueux 5. Conclusions et perspectives 6. Glossaire in Techniques de l'ingénieur : tribologie Ti574. Matériaux et tribologie / Eric Felder  Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS : réf. internet TRI 4700 [texte imprimé] / Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur . - 2012 . - p. 161-180. Bibliogr. p. 179-180 Langues : Français (fre) Mots-clés : Couches  minces  --  tribologie Nano-indentation Adhésion Note de contenu : Sommaire: 1. Microrelais MEMS ohmiques 2. Analyse statistique de la déformation locale des surfaces de contact 3. Etude discrète de la déformation des aspérités des surfaces nanorugueuses 4. Modélisation mécanique du contact rugueux 5. Conclusions et perspectives 6. Glossaire

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