[article]
| Titre : |
Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur |
| Année de publication : |
2011 |
| Article en page(s) : |
18 p. |
| Note générale : |
Bibliogr. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Film mince Nano-indentation Nanorugosités Adhésion Microélectronique Microrelais MEMS ohmique |
| Résumé : |
Afin d’étudier la tribologie des couches minces d’or, des expériences de nano-indentation sphérique aux faibles forces (< 2mN) sont couplées à des traitements d’images réalisées au microscope à force atomique. Ainsi, l’évolution des forces d’adhésion, et donc le risque de stiction du contact, est interprétée en fonction de la rugosité RMS, du rayon de courbure moyen et de la répartition en hauteur du sommet des aspérités de la surface. Une approche discrète est proposée et confrontée à une modélisation étendue du contact rugueux, prenant en compte la déformation de chaque aspérité (de quelques nanomètres), mettant en évidence le faible nombre d’aspérités finalement en contact (< 50 %) et une aire réelle de contact associé de l’ordre de 25 % de l’aire apparente de contact. |
| REFERENCE : |
TRI 4 700 |
| Date : |
Septembre 2012 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/materiaux-et- [...] |
in Techniques de l'ingénieur TRI > Vol. TRI 2 (Autre) . - 18 p.
[article] Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais [texte imprimé] / Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur . - 2011 . - 18 p. Bibliogr. Langues : Français ( fre) in Techniques de l'ingénieur TRI > Vol. TRI 2 (Autre) . - 18 p.
| Mots-clés : |
Film mince Nano-indentation Nanorugosités Adhésion Microélectronique Microrelais MEMS ohmique |
| Résumé : |
Afin d’étudier la tribologie des couches minces d’or, des expériences de nano-indentation sphérique aux faibles forces (< 2mN) sont couplées à des traitements d’images réalisées au microscope à force atomique. Ainsi, l’évolution des forces d’adhésion, et donc le risque de stiction du contact, est interprétée en fonction de la rugosité RMS, du rayon de courbure moyen et de la répartition en hauteur du sommet des aspérités de la surface. Une approche discrète est proposée et confrontée à une modélisation étendue du contact rugueux, prenant en compte la déformation de chaque aspérité (de quelques nanomètres), mettant en évidence le faible nombre d’aspérités finalement en contact (< 50 %) et une aire réelle de contact associé de l’ordre de 25 % de l’aire apparente de contact. |
| REFERENCE : |
TRI 4 700 |
| Date : |
Septembre 2012 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/materiaux-et- [...] |
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Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS (2012)
