Auteur Yingfeng Shan
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Ugur Aridogan, Auteur ; Yingfeng Shan, Auteur ; Kam K. Leang, Auteur |This paper studies repetitive control (RC) with linear phase lead compensation to precisely track periodic trajectories in piezo-based scanning probe microscopes (SPMs). Quite often, the lateral scanning motion in SPMs during imaging or nanofabr[...]
