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Robust control of a parallel- kinematic nanopositioner

Jingyan Dong, Auteur ; Srinivasa M. Salapaka, Auteur ; Placid M. Ferreira, Auteur |

Dans Transactions of the ASME . Journal of dynamic systems, measurement, and control (Vol. 130 n°4, Juillet 2008)

This paper presents the design, model identification, and control of a parallel-kinematic XYZ nanopositioning stage for general nanomanipulation and nanomanufacturing applications. The stage has a low degree-of-freedom monolithic parallel-kinema[...]

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