[article]
| Titre : |
Microsystèmes |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Daniel Estève, Auteur ; Jean Simonne, Auteur |
| Année de publication : |
2007 |
| Article en page(s) : |
16 p. |
| Note générale : |
bibliogr. |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Microsystèmes MST MEMS Micro electro mechanical systems |
| Résumé : |
Le concept de Microsystème est né, à la fin des années 1980, aux États-Unis, des actions conduites à l’université de Berkeley pour intégrer, sur une même puce de silicium, capteurs, traitement du signal et actionneurs. L’intégration de certains capteurs avec leur traitement de signal était déjà bien explorée depuis quelques années (capteurs thermiques, capteurs de vision, capteurs magnétiques de Hall...) ; la nouveauté tenait à l’intégration des actionneurs électrostatiques sous forme de moteurs rotatifs ou linéaires. Ce concept a très rapidement suscité un vif intérêt dans le monde. Appelé MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) aux États-Unis, il s’est appelé Micromachines au Japon et MST (Microsystèmes Technologies) en Europe. On utilise en France le terme de Microsystème. |
| REFERENCE : |
E 2 305 |
| Date : |
Aoüt 2000 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-automatique-th [...] |
in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E4 (Trimestriel) . - 16 p.
[article] Microsystèmes [texte imprimé] / Daniel Estève, Auteur ; Jean Simonne, Auteur . - 2007 . - 16 p. bibliogr. Langues : Français ( fre) in Techniques de l'ingénieur E > Vol. E4 (Trimestriel) . - 16 p.
| Mots-clés : |
Microsystèmes MST MEMS Micro electro mechanical systems |
| Résumé : |
Le concept de Microsystème est né, à la fin des années 1980, aux États-Unis, des actions conduites à l’université de Berkeley pour intégrer, sur une même puce de silicium, capteurs, traitement du signal et actionneurs. L’intégration de certains capteurs avec leur traitement de signal était déjà bien explorée depuis quelques années (capteurs thermiques, capteurs de vision, capteurs magnétiques de Hall...) ; la nouveauté tenait à l’intégration des actionneurs électrostatiques sous forme de moteurs rotatifs ou linéaires. Ce concept a très rapidement suscité un vif intérêt dans le monde. Appelé MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) aux États-Unis, il s’est appelé Micromachines au Japon et MST (Microsystèmes Technologies) en Europe. On utilise en France le terme de Microsystème. |
| REFERENCE : |
E 2 305 |
| Date : |
Aoüt 2000 |
| En ligne : |
http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/electronique-automatique-th [...] |
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Microsystèmes (2000)
