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Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration / Omar Ougouag 

Public ISBD Titre : Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration Type de document : texte imprimé Auteurs : Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse Editeur : Université de Paris-Sud Année de publication : 1985 Importance : 96 f. Présentation : ill. Format : 27 cm. Note générale : Thèse de Docteur Ingénieur : Électronique : Paris, Université -- Paris-Sud : 1985 Bibliogr. f. 98 - 99 . Annexe f. 104 - 107 Langues : Français (fre) Mots-clés : Gravure  --  circuits  intégrés Circuits  intégrés  --  haute  intégration  (VLSI) Détection  --  fin  de  gravure Interféromètre  laser Couches  minces Plasma Index. décimale : D000685 Résumé : Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI). Ce système est construit autour d'un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques. Il est accompagné de cartes d'interfaces performantes et programmables complétées de cartes d'applications spécifiques aux capteurs. Le contrôleur mis au point s'appuie sur l'interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d'autres capteurs. Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration [texte imprimé] / Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse . - [S.l.] : Université de Paris-Sud, 1985 . - 96 f. : ill. ; 27 cm. Thèse de Docteur Ingénieur : Électronique : Paris, Université -- Paris-Sud : 1985 Bibliogr. f. 98 - 99 . Annexe f. 104 - 107 Langues : Français (fre) Mots-clés : Gravure  --  circuits  intégrés Circuits  intégrés  --  haute  intégration  (VLSI) Détection  --  fin  de  gravure Interféromètre  laser Couches  minces Plasma Index. décimale : D000685 Résumé : Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI). Ce système est construit autour d'un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques. Il est accompagné de cartes d'interfaces performantes et programmables complétées de cartes d'applications spécifiques aux capteurs. Le contrôleur mis au point s'appuie sur l'interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d'autres capteurs.

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Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	Spécialité	Etat_Exemplaire
D000685	D000685	Papier	Bibliothèque centrale	Thèse de Doctorat	Disponible

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OUGOUAG.Omar.pdf URL