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Addition of surfactant tween 80 in coating solutions for making mesoporous pure silica zeolite MFI low - k films

Hsin - Yan Lu, Auteur ; Chin - Lin Teng, Auteur ; Chun-Wei Yu, Auteur |

Dans Industrial & engineering chemistry research (Vol. 49 N° 14, Juillet 2010)

A mesoporous pure-silica-zeolite (PSZ) MFI low dielectric (k) film with smooth surface morphology was successfully synthesized using a centrifuged coating solution composed of a solution with PSZ MFI nanoparticles and surfactant Tween 80. The ze[...]

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