| Titre : |
Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse |
| Editeur : |
Université de Paris-Sud |
| Année de publication : |
1985 |
| Importance : |
96 f. |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
27 cm. |
| Note générale : |
Thèse de Docteur Ingénieur : Électronique : Paris, Université -- Paris-Sud : 1985
Bibliogr. f. 98 - 99 . - Annexe f. 104 - 107 |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Gravure -- circuits intégrés
Circuits intégrés haute intégration (VLSI)
Détection fin de gravure
Interféromètre laser
Couches minces
Plasma |
| Index. décimale : |
D000685 |
| Résumé : |
Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI).
Ce système est construit autour d'un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques.
Il est accompagné de cartes d'interfaces performantes et programmables complétées de cartes d'applications spécifiques aux capteurs.
Le contrôleur mis au point s'appuie sur l'interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d'autres capteurs. |
Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration [texte imprimé] / Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse . - Université de Paris-Sud, 1985 . - 96 f. : ill. ; 27 cm. Thèse de Docteur Ingénieur : Électronique : Paris, Université -- Paris-Sud : 1985
Bibliogr. f. 98 - 99 . - Annexe f. 104 - 107 Langues : Français ( fre)
| Mots-clés : |
Gravure -- circuits intégrés
Circuits intégrés haute intégration (VLSI)
Détection fin de gravure
Interféromètre laser
Couches minces
Plasma |
| Index. décimale : |
D000685 |
| Résumé : |
Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI).
Ce système est construit autour d'un micro-ordinateur personnel dont il conserve les possibilités intrinsèques.
Il est accompagné de cartes d'interfaces performantes et programmables complétées de cartes d'applications spécifiques aux capteurs.
Le contrôleur mis au point s'appuie sur l'interféromètre-réflectomètre laser, mais il se configure facilement avec d'autres capteurs. |
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D000100 
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