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Etude et réalisation d'un contrôleur, temps réel, des procédés de gravure de circuits intégrés à haute intégration

Omar Ougouag, Auteur ; Jean Canteloup, Directeur de thèse | Université de Paris-Sud | 1985

Cette thèse présente l'étude et la réalisation d'un contrôleur numérique pour le suivi et le pilotage, en temps réel, des procédés de gravure sous plasma des circuits intégrés à très haute échelle d'intégration (VLSI). Ce système est construit [...]

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