Réalisation de systèmes de caractérisation localisée et automatisée dans le domaine des semiconducteurs [texte imprimé] /
Abdelkader Ali Mehidi, Auteur ;
J. Oualid, Directeur de thèse . -
Université de Droit, d'Economie et des Sciences d'Aix Marseille, 1984 . - 162 f. : ill. ; 27 cm.
Thèse de Docteur Ingénieur : Optique et Traitement du Signal : Marseille, Université de Droit, d'Economie et des Sciences d'Aix Marseille : 1984
Bibliogr. f. 163 - 164
Langues : Français (
fre)
| Mots-clés : |
Optique - traitement -- signal Semiconducteurs Dopage Longueur diffusion Imagerie tridimensionnelle couleur Traitements image |
| Index. décimale : |
D000684 |
| Résumé : |
Dans ce travail nous avons réalisé trois systèmes différents de caractérisation dans le domaine des semiconducteurs.
1- Un système de balayage photoélectrique (EBIC) constitué de deux sources optiques l'une à 0.93 μm l'autre à longueur d'onde variable qui permet d'obtenir une image photoélectrique tridimensionnelle et en couleur d'un composant électronique.
2- Un système de mesure sans contact de la durée de vie basée sur l'absorption infra-rouge des porteurs en excès.
3- Un système de détermination des principales grandeurs intervenant en technologie MOS.
Ces systèmes ont pour point communs:
1) De mesurer localement diverses grandeurs caractéristiques des composants à semiconducteurs.
2) De dresser des cartographies couleurs ou non.
3) D'être gérés par un microordinateur qui autorise une automatisation totale.
4) De conduire à la mesure locale de la durée de vie dans diverses configurations. |
D000100 
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