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Réalisation de systèmes de caractérisation localisée et automatisée dans le domaine des semiconducteurs

Abdelkader Ali Mehidi, Auteur ; J. Oualid, Directeur de thèse | Université de Droit, d'Economie et des Sciences d'Aix Marseille | 1984

Dans ce travail nous avons réalisé trois systèmes différents de caractérisation dans le domaine des semiconducteurs. 1- Un système de balayage photoélectrique (EBIC) constitué de deux sources optiques l'une à 0.93 μm l'autre à longueur d'onde v[...]

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