Le microscope à force atomique métrologique / Sébastien Ducourtieu (2013)

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : mesures mécanique et dimensionnelles Ti673. Métrologie optique et photonique / Marc Priel (2013)   Titre : Le microscope à force atomique métrologique : réf.internet NM7050 Type de document : texte imprimé Auteurs : Sébastien Ducourtieu, Auteur ; Benoît POYET, Auteur Editeur : Paris : Techniques de l'ingénieur Année de publication : 2013 Importance : p.481-504 Note générale : bibliogr.503-504 Langues : Français (fre) Mots-clés : Microscope--Métrologique Note de contenu : Sommaire: 1. nIntroduction 2. Un contexte favorable au développement de la nanométrologie 3. Préambule : la nanométrologie dimensionnelle 4. Microscope à force atomique métrologique 5. Afm métrologique du lne 6. Performances 7. Conclusion et perspectives in Techniques de l'ingénieur : mesures mécanique et dimensionnelles Ti673. Métrologie optique et photonique / Marc Priel (2013)   Le microscope à force atomique métrologique : réf.internet NM7050 [texte imprimé] / Sébastien Ducourtieu, Auteur ; Benoît POYET, Auteur . - Paris : Techniques de l'ingénieur, 2013 . - p.481-504. bibliogr.503-504 Langues : Français (fre) Mots-clés : Microscope--Métrologique Note de contenu : Sommaire: 1. nIntroduction 2. Un contexte favorable au développement de la nanométrologie 3. Préambule : la nanométrologie dimensionnelle 4. Microscope à force atomique métrologique 5. Afm métrologique du lne 6. Performances 7. Conclusion et perspectives

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