Chimie des précurseurs pour le procédé ALD / Stéphane Daniele (2016)

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Titre : Chimie des précurseurs pour le procédé ALD : réf. internet : RE 251 Type de document : texte imprimé Auteurs : Stéphane Daniele, Auteur Année de publication : 2016 Importance : p.383-392 Présentation : ill. Note générale : Bibliogr.p.391 Langues : Français (fre) Mots-clés : Ingénierie-- moléculaire Note de contenu : Au sommaire - Cahier des charges des précurseurs ald - Ingénierie moléculaire des précurseurs ald - Conclusions et tendances - Glossaire in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Chimie des précurseurs pour le procédé ALD : réf. internet : RE 251 [texte imprimé] / Stéphane Daniele, Auteur . - 2016 . - p.383-392 : ill. Bibliogr.p.391 Langues : Français (fre) Mots-clés : Ingénierie-- moléculaire Note de contenu : Au sommaire - Cahier des charges des précurseurs ald - Ingénierie moléculaire des précurseurs ald - Conclusions et tendances - Glossaire

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