Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD / Ioana Nuta

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Titre : Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD : réf. internet : RE252 Type de document : texte imprimé Auteurs : Ioana Nuta, Auteur ; Elisabeth Blanquet, Auteur Importance : p.393-410 Note générale : Bibliogr. p. 409 Langues : Français (fre) Mots-clés : Évaluation --Thermodynamique Note de contenu : Au sommaire: - Propriétés thermodynamiques de la phase gaz - Détermination expérimentale des grandeurs thermodynamiques des phases vapeurs - Utilisation des données thermodynamiques - Conclusion - Glossaire in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Évaluation thermodynamique des précurseurs ALD : réf. internet : RE252 [texte imprimé] / Ioana Nuta, Auteur ; Elisabeth Blanquet, Auteur . - [s.d.] . - p.393-410. Bibliogr. p. 409 Langues : Français (fre) Mots-clés : Évaluation --Thermodynamique Note de contenu : Au sommaire: - Propriétés thermodynamiques de la phase gaz - Détermination expérimentale des grandeurs thermodynamiques des phases vapeurs - Utilisation des données thermodynamiques - Conclusion - Glossaire

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