Simulation à l’échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces / Alain Estéve (2015)

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Titre : Simulation à l’échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces : réf. internet : RE259 Type de document : texte imprimé Auteurs : Alain Estéve, Auteur ; Mehdi Djafari Rouhani, Auteur Année de publication : 2015 Importance : p.411-426 Présentation : ill. Note générale : Bibliogr. p.425-426 Langues : Français (fre) Mots-clés : Échelle atomique -- Simulation Oxydes ultra-minces Note de contenu : Au sommaire: - Contexte - Enjeux pour une simulation de l’ald - Méthodologie multi-échelle - Exemples d’applications - Conclusions et perspectives in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Simulation à l’échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces : réf. internet : RE259 [texte imprimé] / Alain Estéve, Auteur ; Mehdi Djafari Rouhani, Auteur . - 2015 . - p.411-426 : ill. Bibliogr. p.425-426 Langues : Français (fre) Mots-clés : Échelle atomique -- Simulation Oxydes ultra-minces Note de contenu : Au sommaire: - Contexte - Enjeux pour une simulation de l’ald - Méthodologie multi-échelle - Exemples d’applications - Conclusions et perspectives

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