Réacteurs ALD / Jacques Kools (2016)

Public ISBD in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Titre : Réacteurs ALD : réf. internet : RE254 Type de document : texte imprimé Auteurs : Jacques Kools, Auteur Année de publication : 2016 Importance : p.427-440 Présentation : ill. Note générale : Bibliogr. p .439 Langues : Français (fre) Mots-clés : Réacteurs ALD Note de contenu : Au sommaire: - Chimie et physique à l’échelle nanoscopique et microscopique - Métriques de performance - Architectures de réacteur - Génération et dosage de vapeur de précurseur - Exemples d’applications - Conclusion in Techniques de l'ingénieur : innovations technologique Ti958. Innovations en matériaux avancés / Annie Boudrant (2012)   Réacteurs ALD : réf. internet : RE254 [texte imprimé] / Jacques Kools, Auteur . - 2016 . - p.427-440 : ill. Bibliogr. p .439 Langues : Français (fre) Mots-clés : Réacteurs ALD Note de contenu : Au sommaire: - Chimie et physique à l’échelle nanoscopique et microscopique - Métriques de performance - Architectures de réacteur - Génération et dosage de vapeur de précurseur - Exemples d’applications - Conclusion

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