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Etude et réalisation de plusieurs niveaux de métallisation à basse température (<600°C) : application à la réalisation d'un capteur de position intégré avec son électronique de conditionnement

Feriel Sihem Hamdi, Auteur ; Mourad Haddadi, Directeur de thèse ; Tayeb Mohammed Brahim, Directeur de thèse | [S.l.] : [s.n.] | 2009

La multiplicité des niveaux de métallisation est indispensable pour l’association, en microélectronique, des différentes parties d’un microsystème complexe. Le but de ce projet est l’étude et la réalisation de deux niveaux de métallisation pour[...]

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