texte imprimé

Réalisation et étude de silicium microcristallin préparé à basse température

Noureddine Ababou, Auteur ; H. Hamdi, Directeur de thèse | Institut National Polytechnique de Grenoble | 1983

Nous avons préparé des couches minces de silicium microcristallin par "glow-discharge", jusqu'à 300°C en jouant sur les paramètres de préparation flux et puissance HF. Nous avons alors étudié l'influence des paramètres de préparation sur la phy[...]

Plus d'information...

Ajouter un tag

Document numérique

Réserver

Disponible

---

1 (1 - 1 / 1) Par page : 25 50 100 200