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Conception, modélisation et réalisation d'un capteur de pression capacitif microélectronique

Nasr Eddine Ben Moussa, Auteur ; Daniel Estève, Directeur de thèse | Université Paul Sabatier de Toulouse | 1985

La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à leur périphérie soumises à l'action d'une pression uniforme est modélisée en suivant une méthode semi analytique. Connaissant la déflexion en tout point, le comportement de conde[...]

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