Les capteurs MEMS / Gilles Amendola in Techniques de l'ingénieur RB, Vol. RB1 (Trimestriel)  

Les capteurs MEMS : techniques de mesures [texte imprimé] / Gilles Amendola, Auteur ; Patrick Poulichet, Auteur . - 2007 . - 19 p.
Bibliogr.
Langues : Français (fre)
in Techniques de l'ingénieur RB > Vol. RB1 (Trimestriel) . - 19 p.

Mots-clés :	Cpteurs MEMS Microcapteurs
Résumé :	Après avoir exposé dans le premier article (article [R 430]) les technologies de fabrication, les principaux effets rencontrés et les traitements électroniques associés, le but de ce 2e article est d’exposer les techniques utilisées et leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures ; ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques, etc. seront développées. Rappelons au lecteur qui n’aurait pas lu [R 430] que nous définissons par « microsystèmes » des systèmes à base de microtechnologie qui associent des principes mécaniques, électriques, optiques, chimiques, etc. et l’électronique de traitement. Le terme « MEMS » est utilisé pour des microsystèmes basés sur des principes électriques et mécaniques et les microcapteurs (ou capteurs MEMS) sont des microsystèmes dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques.
REFERENCE :	R 431
DEWEY :	620.004 4
Date :	Septembre 2011
En ligne :	http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mesures-analyses-th1/instru [...]