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Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais in Techniques de l'ingénieur TRI, Vol. TRI 2 (Autre)
Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais [texte imprimé] / Arrazat, Brice, Auteur ; Inal, Karim, Auteur . - 2011 . - 18 p.
Bibliogr.
Langues : Français (fre)
in Techniques de l'ingénieur TRI > Vol. TRI 2 (Autre) . - 18 p.
Mots-clés : Film mince Nano-indentation Nanorugosités Adhésion Microélectronique Microrelais MEMS ohmique Résumé : Afin d’étudier la tribologie des couches minces d’or, des expériences de nano-indentation sphérique aux faibles forces ( REFERENCE : TRI 4 700 Date : Septembre 2012 En ligne : http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mecanique-th7/materiaux-et- [...]
