Les capteurs MEMS / Gilles Amendola in Techniques de l'ingénieur RB, Vol. RB1 (Trimestriel)  

Les capteurs MEMS : principes de fonctionnement [texte imprimé] / Gilles Amendola, Auteur . - 2007 . - 20 p.
Bibliogr.
Langues : Français (fre)
in Techniques de l'ingénieur RB > Vol. RB1 (Trimestriel) . - 20 p.

Mots-clés :	Capteurs MEMS  Fonctionnement  Electronique
Résumé :	Cet article est le premier d’une suite de deux articles, [R 430] et [R 431], traitant du vaste sujet des capteurs MEMS. Dans cette première partie, nous exposerons les technologies de fabrication, les principaux effets physiques rencontrés, et les traitements électroniques associés. Les traitements électroniques couvrent en partie le sujet de la transformation des variations de valeurs d’un paramètre électrique (tel que résistance, capacité...) en un signal électrique facilement utilisable (ce signal pouvant être analogique ou numérique). Dans la seconde partie (article [R 431]), nous traiterons des techniques utilisées et de leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures. Ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques... seront développées dans cette seconde partie.
REFERENCE :	R 430
Date :	Mars 2011
En ligne :	http://www.techniques-ingenieur.fr/base-documentaire/mesures-analyses-th1/capteu [...]